1. 處理芯片時，必須戴上無纖維手套，使用清洗過的幹淨鑷子挾持芯片，請勿以手指或其它任何東(dong) 西接觸芯片，遭碰觸汙染過的芯片須經清洗，方得繼續使用：
(1) 任何一支鑷子前端(即挾持芯片端)如被碰觸過，或是鑷子掉落地上，必須拿去清洗請勿用紙巾或布擦拭髒鑷子。
(2) 芯片清洗後進行下一程序前，若被手指碰觸過，必須重新清洗。
(3)把芯片放置於(yu) 石英舟上，準備進爐管時，若發現所用鑷子有汙損現象或芯片上有顯眼由鑷子所引起的汙染，必須將芯片重新清洗，並立即更換幹淨的鑷子使用。
2. 芯片必須放置盒中，蓋起來存放於(yu) 規定位置，盡可能不讓它暴露。
3.避免在芯片上談話，以防止唾液濺於(yu) 芯片上，在芯片進擴散爐前，請特別注意，防止上述動作產(chan) 生，若芯片上沾有纖維屑時，用氮氣槍噴之。
4. 從(cong) 鐵弗龍(Teflon)晶舟，石英舟(QuartzBoat)等載具(Carrier)上，取出芯片時，必須垂直向上挾起，避免刮傷(shang) 芯片，顯微鏡鏡頭確已離芯片，方可從(cong) 吸座上移走芯片。
5. 芯片上，若已長上氧化層，在送黃光室前切勿用鑽石刀在芯片上刻記。
6. 操作時，不論是否戴上手套，手絕不能放進清洗水槽。
7. 使用化學站或烤箱處理芯片時，務必將芯片置放於(yu) 鐵弗龍晶舟內(nei) ，不可使用塑料盒。
8. 擺置芯片於(yu) 石英舟時，若芯片掉落地上或手中則必須重新清洗芯片，然後再進氧化爐。
9. 請勿觸摸芯片盒內(nei) 部，如被碰觸或有碎芯片汙染，必須重作清洗。
10. 手套，廢紙及其它雜碎東(dong) 西，請勿留置於(yu) 操作台，手套若燒焦、磨破或纖維質變多必須換新。
11. 非經指示，絕不可開啟不熟悉的儀(yi) 器及各種開關(guan) 閥控製鈕或把手。
12. 奇怪的味道或反應異常的溶液，顏色，聲響等請即通知相關(guan) 人員。
13. 儀(yi) 器因操作錯誤而有任何損壞時，務必立刻告知負責人員或老師。
14. 芯片盒進出無塵室須保持幹淨，並以保鮮膜封裝，違者不得進入。
15. 無塵室內(nei) 一律使用原子筆及無塵筆記本做記錄，一般紙張與(yu) 鉛筆不得攜入。
